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洁净室检测压差的测试

（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。

（1）先关闭所有的门。

（3）记录所有数据。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

洁净室（区）空气洁净度检测等级

（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %

（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：

（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。

（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。

洁净室检测对空气温度检测仪器的要求

1.玻璃温度计，玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图  所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀，从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。

2.数字温度计，数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计，也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。