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洁净室检测压差的测试

（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。

（1）先关闭所有的门。

（3）记录所有数据。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

风量罩检测洁净室风量的流程

1 打开风量仪电源，将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零的工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。

3 复零校准结束之后，直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面，以防止旁通气流和不准确读数。

4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值，并记录。测量完毕之后，关闭电源即可。

6 仪器会自动保存测量数据，出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。