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发布时间:2022-02-26 03:55:00 作者:慧宇昊
洁净室气流流向检测
一、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
二、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线。
2. 将细线在室内悬吊,使其自然下垂,细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾,其方式很类似,就是在滤网下施放烟雾,然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触,将红线当成烟雾,再计算夹角就可以了。
洁净室检测仪器的选用
尽管对净化车间内的洁净度的测量,可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,并且可以直接显示瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量,使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
洁净室污染源传播的途径
不但要弄清洁净室的污染源是哪些,其污染途径同样需要分析清楚。从大的方面来看,洁净室的污染粒子主要是通过空气传播与接触传播。但在很多情况下,这两种传播途径是交替存在的、协同传播的。所有的主要污染源都会将所发生、携带的污染粒子散布到空气中,微小的粒子会在空气中扩散,或随气流运动并接触到洁净室的产品或研究对象而构成污染。这些微粒子还可能粘附在墙面、地面、设备表面上,因人员操作、走动或气流的扰动又重新扩散到空气中去,形成二次污染。
较大的粒子如碎屑、细末和纤维,不会远离其生成的地点,但也存在掉落在产品、产品构件之中,或者附着在它们的表面上构成污染。这些粒子还会掉落﹑粘附在操作人员的手套、服装上,随后又污染了其他的产品和洁净室表面。
但机器设备、容器、包装、原材料、手套、服装等与产品直接接触时,附着其上的污染物就可以通过“接触”这个途径传播给产品。
洁净室的气流组织
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口,以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势,与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后,侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险,使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离,也是必要措施之一。
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