洁净度设备常用指南「在线咨询」

洁净室检测结果评定

1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)

2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)

3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次

洁净室检测压差标准要求

按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。

(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

洁净室检测送风的过滤

洁净室空调送风系统的末端装置—―过滤器(HEPA)或超空气过滤器(ULPA)，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理后的新风和回风中的颗粒污染物。经、超空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但末级过滤器如有破损和过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么末级过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散,危害影响范围较大。因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。