河北实验室检测报告***「慧宇昊」

洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室照度检测

应该在洁净室每个工作地点（例如书桌、工作台）测量照度，然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间，如果单用一般照明，通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格（或接近方形），测量每格中心的照度 Ei ，则平均照度等于各点照度的算术平均值。

照度的不均匀度计算，照度是指洁净室内照明全开时，室内小照度与平均照度的比值，它是评价照度均匀性的一个重要指标。

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。