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洁净室气流流向检测

一、测试仪器

1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪

二、测试步骤

1. 用支架设立垂线作为基准线。

2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。  

不同级别相邻洁净室间检测的压差

防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为1~lPa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区，再流向室外，这样就可减少室外向服务区、服务区向低级别洁净室，低级别洁净室向别洁净室传播空气中的悬浮污染物。

洁净室照度检测

应该在洁净室每个工作地点（例如书桌、工作台）测量照度，然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间，如果单用一般照明，通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格（或接近方形），测量每格中心的照度 Ei ，则平均照度等于各点照度的算术平均值。

照度的不均匀度计算，照度是指洁净室内照明全开时，室内小照度与平均照度的比值，它是评价照度均匀性的一个重要指标。

洁净室检测压差的仪器

1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化，以便于在较宽的范围内测定微压差，而构造较为简单。当测定的微压差较小时，恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大，被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差更大时，被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上，以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。

2. 弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离，来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移，根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构，将变形量传递给指针，或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针，以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础，再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针， 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。