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洁净室检测围护结构等表面的维护与清洁

首先是洁净室的墙面、地面、顶棚等维护结构，在设计、施工中要选用表面光洁、质地坚实、不产尘、少积尘、耐清洗等符合质量要求的材料。要求它们在频繁地擦拭、洗涤等清洁、消毒的条件下，表面不变粗糙或多孔，否则会存留微粒和化学污染物，或容易导致微生物污染。

在设计、施工中应保证洁净室内的墙面、地面、顶棚、门、空气扩散板和地漏等都是易于进行表面清洁的。而且还应把墙面、地面、顶棚等的接缝处的细节考虑在内，特别要避免出现有可能积留水分的地方或表面。

洁净室泄漏检测

1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。④将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。