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发布时间:2022-09-05 11:07:00 作者:慧宇昊
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。
洁净室检测应控制人员散发的污染
人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验,人员身着一般工作服行走时,每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。
控制人员散发的污染,首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系,未经洁净室工作人员守则培训的人员,一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则,整齐穿着洁净室工作服,戴工作手套、口罩、发帽,穿洁净靴,经洁净通道进入。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
洁净室照度检测步骤
(1)测量被测洁净室的长度和宽度,记录在原始记录纸上,并计算房间的面积;
(2)根据洁净室照度检测采样要求,进行布点,在每个测量点做好标记, 并在记录纸上画出测点布置示意图;
(3)准备好照度仪,并确定照度仪能正常使用,开启照度计,将探测头放置在测点位置上;
(4)每个测点等照度读数稳定时,一般间隔 1min,将该值记录在原始记录纸上。
(5)对测试数据按公式计算处理,与接受标准进行比较,判断照度是否合格。
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