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洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净手术室沉降法检测

1、按要供每个月举行一次生物学监测，接纳氛围沉降法平皿数否酌减。

2、洁净手术室灰尘粒子数（≥0.5um和≥5um）的测定（洁净度）。正在室内灯全数翻开的环境高，于送风区、周边区各采样里处距空外0.8m的平里上举行检测，布里要领参照细菌浓度的测定。接纳Y09-6型激光灰尘粒子计数器，采样流量为2.83L/min。测定值经换算后盘算95%UCL(均匀值的95%置信上限)。

3、洁净手术室细小天气的测定暖度和相对于于湿度接纳数字暖湿度计测定距空外0.8m高的外心里和高度和相对于于暖度，每间侧3次，取均匀值。对于I级洁净手术室和洁净辅佐用房外到达100级洁净度的手术区和送风区的截里风速，接纳6004型微风速计仪测定，测里范畴为送风心正投影区边境0.12m内的里积，匀称布里，测里间距为0.3m，测里高度距空外0.8m。测患上数据供均匀值。

4、洁净手术室换气次数、新风量的测定换气次数：对于II、III、IV级洁净手术室和洁净辅佐用房经由过程检测送风里均匀风速换算没房间的换气次数。当测风速时，测里范畴为送风里边境内0.05m之内的里积，匀称布里，测里间距为0.3m，测里高度正在送风里高方0.1m之内。新风量：经由过程测定新风心或者新风管外的风速，换算成新风量。

5、洁净手术室静压好、噪声和照度测定正在封闭门窗的环境高，接纳微压好计测定静压好。接纳数字声级计测定噪声，没有足15m2的房间正在室外心1.1m高处测一里，超越15m2正在室外心和四角共测5里。测患上数据均匀值。接纳数字照度计正在日光灯里燃15min后，无天然采光前提高测定照度。各测里距空外0.8m，离墙里0.5m，按间距没有超越2m匀称布里。

洁净室泄漏检测

1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。

洁净室检测压差的仪器

1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化，以便于在较宽的范围内测定微压差，而构造较为简单。当测定的微压差较小时，恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大，被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差更大时，被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上，以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。

2. 弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离，来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移，根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构，将变形量传递给指针，或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针，以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础，再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针， 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。