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工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定

测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑

回风口的测点布置：在有代表性的回风口处.

走廊的测点布置：走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.

室外的测点布置：室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测哪些方面？

可分为洁净室工程竣工验收的检测、综合性能评定的检测和运行中的监测及定期综合性能检测，目的是认证该洁净室（区）是否始终符合设计要求，确保工厂的生产环境满足产品质量需求，达到稳定的产品质量、成品率，创造较好的经济效益。

建设单位关心运行状态下的洁净室空气洁净度等级，即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的测试结果，即动态的测试结果。而施工者通常希望在空态下测试的结果作为工程竣工验收结果。

我国GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定，工程竣工验收及综合性能评定主要由建设单位负责，设计和施工单位配合，且竣工验收的检测和调整应在空态下进行，综合性能评定的检测状态应由建设单位、设计单位和施工单位三方协商确定。主要原因是洁净室动态测试一般超出了洁净室施工单位的控制范围，而且以空态或静态作为检测状态的规定更能及时客观地评价工程的质量。

单向流洁净室检测

单向流洁净室也叫层流洁净室也分为垂直流动洁净室和水平流动洁净室，其气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧，它是将室内污染源的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的清洁空气对污染源起隔离作用。

特点：流线单向平行，是指时均流线彼此平行，方向单一，并且干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。