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发布时间:2022-08-18 13:45:00 作者:慧宇昊
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。
洁净室检测测试步骤
A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。
B、检测前和检测后设备“清零”
C、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。
工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
洁净室检测测定方法
清洁度测试方法对过程控制、和失效分析非常重要,是概括用于获得有关测定主体如各种机械设备、电子零件等清洁度测试的详细过程。
清洁度测试时对取样有要求,取样的基本要求决定于样品的数量和取样位置。零件体积越大、表面积越大、清洁度偏低,则样品数量相应减少。应该从生产中随机抽取零件,并且采样过程和后面的检查过程中不能造成零件的污染。清洁度测试时,一要环境清洁,其清洁度测试应与检测的要求相适应;二要检测人员的衣帽和双手清洁;三要所用器具也必须清洁。
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