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洁净室检测注意事项

1．检查测定仪器是否正常，并作外表洁净后方可进入测试环境，采样管必须清洁并无渗漏，仪器按规定预热至稳定。

2．测试点及采样次数均应在测试开始前确定，防止在测试过程中随意改变测试点及改变采样次数。

3． 计数器采样口和仪器工作位置应在同一气压和温度下，以免产生测量误差。

4．在确认洁净室(区）送风量和压差达到要求后，方可进行采样。布置采样点时，应避开回

风口。

5．更换测试点时，应待仪器读数下降至稳定后，方可开始新测试点的读数。4.3.6.测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。

7．采样管的长度为仪器使用所允许的长度。无规定时，不宜超过1.5米。

8．测试结果不符合洁净级别要求时，应按原方法重复一次，并且每个测试点的采样次数增加2次;重复测试结果符合规定时，即可判定为符合该洁净级别的要求。

洁净室泄漏检测

1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。

缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：

1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；

3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。