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发布时间:2022-08-02 18:20:00 作者:慧宇昊
洁净室检测-采样量
不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。
洁净室各类检测
1.温湿度检验:①使用温湿度计测试时,距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试,约每9M2测定一点,每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2.噪音检验:距地板约1.2M,用噪音计于测测试,测数以每9M为一点,每点测定时间5秒。
3.不管气流为层流.乱流或混合式流,于工程完成后之状(ASBUILT)各项目大部分均须列入检验,但在作业状态则有所选择。
洁净室检测压差的仪器
1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化,以便于在较宽的范围内测定微压差,而构造较为简单。当测定的微压差较小时,恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大,被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差更大时,被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上,以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。
2. 弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多,应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离,来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移,根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构,将变形量传递给指针,或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针,以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础,再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针, 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。
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