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洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法

洁净室检测悬浮粒子

A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

B、设备要在校准期内使用。

C、检测前和检测后设备“清零”

D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。

E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。

采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。

洁净室检测应控制人员散发的污染

人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。根据试验，人员身着一般工作服行走时，每分钟所散发的≥0.l u m的颗粒数可高达1.9×lpcs/人·min。

控制人员散发的污染，首先是控制进入洁净室的人员数量。生产、科研无直接关系，未经洁净室工作人员守则培训的人员，一律不得进入洁净室。进入的人员要遵守洁净室工作守则，整齐穿着洁净室工作服，戴工作手套、口罩、发帽，穿洁净靴，经洁净通道进入。