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洁净室（区）空气洁净度检测等级

（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %

（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：

（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。

（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。

洁净室噪音度检测

一、检测准备，竣工图面（初版）与相关规范确认洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成。

二、测试目的，此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。

三、测试仪器，噪音仪

四、测试位置，每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。

五、测试步骤：

a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。

b.确认测试点及配置图编号。

c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录大值。

洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

洁净室检测等动力采样的问题

所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。