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洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工质量验收规范>中规定,粒子计数器应使用采样流率大于1L/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83L/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。

洁净室检测测试规则

1.温度湿度，要求与生产及工艺相适应（温度18~26℃，相对湿度45~65%为宜)

2.压差洁净度级别不同的洁净室(区）之间压差>5Pa，洁净区与非洁净区之间压差≥10Pa。

3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，室内没有生产人员的测试。

4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态，生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。

5.静态测试时，室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。

6.测试状态:静态测试和动态测试

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。