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发布时间:2022-06-04 20:50:00 作者:慧宇昊
洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
风量罩检测洁净室风量的流程
1 打开风量仪电源,将风量仪倒扣在地板上,在无风地点进行风量仪校零的工作,上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。
2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。
3 复零校准结束之后,直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器,并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面,以防止旁通气流和不准确读数。
4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。
5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值,并记录。测量完毕之后,关闭电源即可。
6 仪器会自动保存测量数据,出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。
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