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洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

生物洁净室检测分类

以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为：

A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。

洁净室检测测定方法

清洁度测试方法对过程控制、和失效分析非常重要，是概括用于获得有关测定主体如各种机械设备、电子零件等清洁度测试的详细过程。

清洁度测试时对取样有要求，取样的基本要求决定于样品的数量和取样位置。零件体积越大、表面积越大、清洁度偏低，则样品数量相应减少。应该从生产中随机抽取零件，并且采样过程和后面的检查过程中不能造成零件的污染。清洁度测试时，一要环境清洁，其清洁度测试应与检测的要求相适应；二要检测人员的衣帽和双手清洁；三要所用器具也必须清洁。

洁净室照度检测

应该在洁净室每个工作地点（例如书桌、工作台）测量照度，然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间，如果单用一般照明，通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格（或接近方形），测量每格中心的照度 Ei ，则平均照度等于各点照度的算术平均值。照度的不均匀度计算，照度是指洁净室内照明全开时，室内小照度与平均照度的比值，它是评价照度均匀性的一个重要指标。