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洁净室检测测试

1．洁净室内面积在15M以下之场合，测在1'及2'位置，测定的点数:2。

2．洁净室内面积在15M以上 100M以下时，测位置在1，2，3，4，5个点位置，测数:5。

3．洁净室地板面积超过100M2时，除以上之5点外，每增加10OM2须外加4点或将全部区域以3×3MP单位分割成数区域，每区各取一测试点。

4．空气取样口须垂直向上，取样测试高度一般约在1.2M~1.25M 之间,相当于工作桌之高度或作业高度。

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

洁净室检测压差的仪器

1.曲管压差计是一种既简单而压差测值适应范围又相对较宽的液体微压计。它利用液体管的曲率变化替代斜管压差计的倾角变化，以便于在较宽的范围内测定微压差，而构造较为简单。当测定的微压差较小时，恰处于曲管斜率较小的直管段。随着被测压差的增大，被测值显示在曲率变化的曲管段。被测压差更大时，被测值将显示在斜率很大的直管段上。常将它挂在洁净室墙上或空气处理机组靠近空气过滤器的外壁上，以监测洁净室内外或空气过滤器前后的静压差。

2. 弹性气压计是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围非常广泛。通过测定与齿轮或磁链相连的指针因隔膜位移而偏转的距离，来测量两个区域的空气压差。弹或膜片压力计属于机械式压差计。因存在压差使弹簧管、弹变形或膜片位移，根据其变形量、位移量与所测压力差存在的函数关系为原理制成。通过杠杆机构，将变形量传递给指针，或通过磁性变化将膜片位移量传递给指针，以指示压差量。弹性压力表工作原理是通过表内的敏感元件的弹性形变作为测量的基础，再由表内机芯的传动机构将压力形变传导至指针， 引起指针转动来显示压力。图 2-38 给出了弹簧管、弹压力计工作原理图和某种通过磁性传递隔膜变化来指示压力的微压计外形。