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洁净室检测压差的测试

（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。

（1）先关闭所有的门。

（3）记录所有数据。

（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。

（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。

洁净室噪音度检测

一、检测准备，竣工图面（初版）与相关规范确认洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成。

二、测试目的，此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。

三、测试仪器，噪音仪

四、测试位置，每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。

五、测试步骤：

a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。

b.确认测试点及配置图编号。

c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录大值。

洁净室气流流向检测

一、测试仪器

1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪

二、测试步骤

1. 用支架设立垂线作为基准线。

2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。 

洁净室自净能力检测

一、测试目的，确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。

二、测试仪器，颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、2100、颗粒释放器。

三、测试位置，任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。

四、测试步骤

1.在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。

2.在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量，连续测试数分钟，待取一个稳定的数据，此时，再将该房间的整个空调系统全部断电。

3.在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间