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洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法

洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。

洁净室检测点的布置

根据中华人民共和标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。

洁净室检测送风的过滤

洁净室空调送风系统的末端装置—―过滤器(HEPA)或超空气过滤器(ULPA)，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理后的新风和回风中的颗粒污染物。经、超空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但末级过滤器如有破损和过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么末级过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散,危害影响范围较大。因此洁净室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。