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洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室检测地板导电检测

一、测试介绍，导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易程度 (relative ease) ，电阻的倒数即导电度

二.、测量目的测量，板上点与点之间 (Floor Point to Point) 的电阻，和地板与大地间(Floor to Ground) 的电 阻

三、Point to Point 检测过程，温湿度需已经测试调整合格每组数据需使用两个电极电阻计之开路电压为 500 欧姆，内阻至少 100000 欧姆每个无尘室至少量 5 组数据，取平均值

洁净室检测的浮游菌测试

洁净室检测的浮游菌测试，是洁净室空调系统检测中的一项重要检测项目。空气微生物大多依附在尘埃粒子上，形成生物活性粒子， 通过浮游菌采样仪，收集一定数量的空气，一般是100L到1000L，空气中的活性粒子被事先安装好的培养基平皿捕获，达到采样的目的。每个测试点一般测试一次。

浮游菌采样数参照尘埃粒子测试点数取样，在工作台面上均匀分布。浮游菌采样量，参见GB/T 16396-2010工业洁净室（区）浮游菌的测试方法采样量为1000L、B 500L、C 100L、 D100L,试验时取对照皿做阴性对照，对照皿与采样皿同法操作。洁净室检测的浮游菌测试平皿，采样后被放置于培养箱中，在温度30-35℃的培养箱内培养48～72小时。培养结束后，用肉眼对培养皿上所有的菌落直接计数、标记，然后用5—10倍放大镜检查有无遗漏。通过计算培养基上微生物的数量判断空气中浮游菌的数量，以证明洁净室检测验证结果，浮游菌符合相应洁净度的要求

洁净室压差检测

1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。

2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。

3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。