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洁净室检测对不同的对象，有不同的控制要求

⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）

⑵空气中悬浮分子玷污物

⑶病毒

⑷微振

⑸静电

⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。

洁净技术内容涉及：

⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。

⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。

⑶有关玷污物的检测及监测。

洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室工作服检测

（1）ASTM-F-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子，可以读出一个格子内的粒子数。

（2）ASTM-F-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料，用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上，用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引，通过的空气量为28L/min。

（3）振动法把试样放在小室内，通过振动扭转产生粒子，用粒子计数器测定。同时，对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上，读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim)，振动次数为150次/分。

（4）滚桶法(Helmke Drum Test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转，从粒桶内对发尘粒子采样，用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm，在桶的内侧有4个叶片，桶的转数为10转/分。

洁净室各类检测

1．温湿度检验:①使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试，约每9M2测定一点，每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。

2．噪音检验:距地板约1.2M，用噪音计于测测试，测数以每9M为一点，每点测定时间5秒。

3．不管气流为层流．乱流或混合式流，于工程完成后之状（ASBUILT)各项目大部分均须列入检验，但在作业状态则有所选择。