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洁净室气流流向检测

一、 测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、 测试方法

洁净室检测等动力采样的问题

所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。

风量罩检测洁净室风量的流程

1 打开风量仪电源，将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零的工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

2 按屏幕上的测量键进入测量房间号码的输入。输入完再次按测量键进入测量界面。

3 复零校准结束之后，直接将风量罩的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏的情况。风量罩的接触面要是平面，以防止旁通气流和不准确读数。

4 查看风量仪的读数是否超过风量仪的大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

5 稳定 10s 后即可读取风量仪上的数值，并记录。测量完毕之后，关闭电源即可。

6 仪器会自动保存测量数据，出现不明原因导致的数据可以按屏幕上的清除键可以清除当前数据。