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发布时间:2022-03-27 04:23:00 作者:慧宇昊
洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
洁净室检测的压差
正压差值并非是越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员物料通过门时,即便门两侧关门压差高达 1~1Pa,仍难避免随人员、物料向内移动时携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差别时,门敞开后,即便无人走动,在开口断面部分面积上也存在逆向气流,带入空气的悬浮污染物。此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪音,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器负担。
洁净室照度检测
应该在洁净室每个工作地点(例如书桌、工作台)测量照度,然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间,如果单用一般照明,通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格(或接近方形),测量每格中心的照度 Ei ,则平均照度等于各点照度的算术平均值。照度的不均匀度计算,照度是指洁净室内照明全开时,室内小照度与平均照度的比值,它是评价照度均匀性的一个重要指标。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况,确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些(开关门)常规压差变化,以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估:
1.关闭所有的门和传递窗,定义所有设备的运行状态,观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差,注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动;
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱,打开所有的门,一次打开一边的门,注意房间或区间压力波动。关门,确认压差回到其原始值;
3.泄漏通道,例如门周边泄漏,应进行评估,作为洁净间设计的一部分,以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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